布鲁克InSight CAP自动原子力显微镜

InSight CAP紧凑型原子探查器

基于生产的深度计量

布鲁克的InSight CAP自动原子力轮廓仪专门设计用于半导体制造商和供应商的CMP和蚀刻计量的组合平台。InSight CAP系统具有300毫米自动处理功能和久经考验的GEM工厂自动化软件。

InSight CAP提供

• CMP和蚀刻的行业的精度和分辨率
• 无需模型的无损计量
• 在线计量只需几分钟即可完成，适用于技术开发
• 占地面积小，配置灵活，可实现拥有成本

布鲁克InSight CAP自动原子力显微镜计量

在*技术节点上，利用多图案光刻技术对CMP提出了纳米工艺控制要求，以满足聚焦深度的需求。InSight CAP围绕一代的AFM扫描仪构建，可在65μmX / Y扫描范围内提供小于10纳米的改进平面度。该系统的NanoScope®V 64位AFM控制器提供5倍的接合性能和5倍的调谐速度，以提高生产率，同时还具有增强的可靠性。其DT自适应扫描模式还有助于加快扫描速度并改善计量。凭借其*功能的结合，InSight CAP高分辨率轮廓仪可实现埃级精度，以测量宏观凹陷和腐蚀。

价值平台

灵活的配置可支持100毫米至300毫米的晶圆尺寸，从而可以针对各种终应用进行精确测量。从高效的实验室到全自动的晶圆厂，InSight CAP Profiler可以针对经济高效的计量解决方案进行配置。