布鲁克Dimension Edge PSS原子力显微镜

的PSS计量功能

带有AutoMET的Dimension Edge PSS提供了纳米分辨率，可用于分析PSS基板的每个关键参数，同时自动收集整个晶片和晶片之间的信息。

布鲁克的PSS分析包可以同时提供以下数据：

• 高度，宽度和间距
• 侧壁角度和特征轮廓
• 新：不对称识别和测量
• 新：污染识别
• 新：转弯识别和转弯角度
• 新：平顶识别

AutoMET软件分析具有新的测量功能

我们在AutoMET软件中添加了新的测量功能，以增强PSS结构的分析。

Dimension Edge PSS具有亚微米间距分辨率，可满足LED制造路线图的需求。其小于0.2nm的本底噪声可提供裸露的基板和Epi粗糙度测量，并且可容纳2至6英寸的晶片，从而提供了样品灵活性。

带有9个晶片卡盘的Dimension Edge PSS AutoMET软件和系统。

布鲁克Dimension Edge PSS原子力显微镜

PSS的3D计量和过程控制

具有AFM 3D分辨率的AutoMET自动化计量和生产功能

具有AutoMET™计量软件的布鲁克Dimension Edge™PSS原子力显微镜是LED基板和外延制造商的理想纳米计量和纳米检查系统。作为Dimension Edge AFM平台的扩展，Edge PSS融合了Dimension AFM系统所享有的令人难以置信的价值和分辨率，同时还提供了产品

平顶图案蓝宝石衬底的3D AFM图像。

基于基体测量的解决方案。该系统集成了布鲁克专有的AutoMET控制和分析软件，该软件专门为满足图案化蓝宝石衬底（PSS）供应商的需求而设计，可提供价值不菲的原子力显微镜*的自动化水平和易用性。