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国仪量子SEM4000X场发射扫描电镜
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更新时间:2025-06-06  |  阅读:687

详情介绍

国仪量子SEM4000X场发射扫描电镜是一款稳定通用,灵活高效的场发射扫描电镜。分辨率可达1.9nm @1.0kV,轻松应对各种类型样品的高分辨拍样挑战,可升级超级减速模式,进一步提升低压分辨率。同时采用了多探测器技术,镜筒内电子探测器(UD)可探测SE和BSE信号,同时具有高分辨率性能。仓内电子探测器(LD)采用了晶体闪烁体和光电倍增管,具备更高的灵敏度和高效性,图像具有很好的立体感。中文操作软件,简单易用,丰富的自动化功能,如自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散、自动对中等等,可快速获取高分辨图像。

国仪量子SEM4000X场发射扫描电镜

国仪量子SEM4000X场发射扫描电镜

电子光学

产品参数

关键参数分辨率0.9 nm@30 kV, SE
1.2 nm@15 kV, SE
1.9 nm@1 kV, SE
1.5 nm@1 kV(超级减速)
1.0 nm@15 kV(超级减速)
加速电压200 V~30 kV
放大倍率1~1,000,000×
电子枪类型肖特基场发射电子枪
样品室低真空模式/
摄像头双摄像头(光学导航+样品仓内监控)
XY行程110 mm
Z行程65 mm
T行程-10°~+70°
R行程360°
探测器镜筒内电子探测器UD-BSE/UD-SE
仓室内电子探测器LD
插入式背散射电子探测器(BSED)(五分割,可选配)
插入式扫描透射电子探测器(STEM)
低真空二次电子探测器(LVD)
能谱仪(EDS)
背散射衍射(EBSD)
扩展样品交换仓(4寸/8寸)
旋钮板&轨迹球
双减速技术(Duo-Dec)/
超级减速技术
软件操作软件Windows操作系统,中文SEM软件
导航光学导航、手势快捷导航、轨迹球(选配)
自动功能自动亮度对比度、自动

●标配 ○选配 /无


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