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详情介绍
KOSAKA台阶仪EC1550H薄膜测厚仪产品概述:
产品概述:
● 具有丰富、高精度且快速的测定功能。
● 搭配数显辅助的快速手动调心调平装置,及自动编程测量功能可实现高效率的测量及解析。
● 多种滤波类型(采用2CR标准型、2CR、Gaussian位相补偿型)。
● KOSAKA真圆度仪搭配one touch全姿势调整传感器,可在不更换测针及传感器的情况下,一次测量内外径真圆度圆柱度、平行度、平面度等多种参数。
KOSAKA台阶仪EC1550H薄膜测厚仪产品参数
机构 · 方式 | 多孔质静压空气轴承 · 工作台回转式 |
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半径方向 回转精度 | (0.02+0.0004H)um H:工作台面上算起的高度(mm) |
最大测定径 最大测定高度 | 368mm 外径420mm, 内径270mm |
积载重量/最大装载径 | 25kg/Φ450mm |
上下移动量 | 250mm (使用b触针臂时) |
工作台尺寸 | 160mm |
利用长探针杆臂以及新开发“one touch"式传感器holder可自由进入深穴、平面、倾斜面、内径、外径……等测定点。软件具有提醒功能,可实现编程后一次性的测量样品所有参数。另有防止探针落差过大卡针之保护机构。
横臂方向(半径方向)或上下方向均有自动停止机能,利用伺服控制,可自动找出适合测定位置,几乎无需手动微调整,操作性大幅上扬。
此方式,可从直线图形上,任何位置直接之,使操作上更加方便,无需细微调整。
此方式,可从直线图形上,任何位置直接之,使操作上更加方便,无需细微调整。
Kosaka的多孔质静压空气轴承系统工作台,由于特殊设计,有以下特点:
1、具高刚性高负荷能力,故对偏负荷以及外部震动有强力之抑制能力。
2、压力分布性均匀、安定性的情况下,可得到高回转精度。
3、空气消耗量非常之少(为传统的1/3),稳定度高并可达经济之效果。
综合以上三项特点,即是为了达到高精度,安定性之测量结果的坚强保证。