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TruPlasma MF Serie7000中频等离子体电源:
的涂层质量和生产效率
即使在极其严苛的反应工艺流程中,仍能实现出色结果与高沉积速率。
*效率
凭借超过 90 % 的顶尖
能量转化率,运行效率可超过 80 %。
适应所有气候的稳定供电系统
即使在高冷却水温度和低压差条件下,功能依旧可靠。
全球可用
电源电压可变,因此无需技术适配。
TruPlasma MF Serie7000中频等离子体电源:
通过 TruPlasma MF 7000 (G2) 系列可以随时掌控工艺流程:此款电源的电弧管理和点火特性优势,是用于大面积镀膜(Large Area Coating)以及双磁控溅射中高要求反应工艺流程的理想供电系统。与此同时,超过 90 % 的顶尖能量转化率和极为高效的冷却水管理系统确保*的运行经济性。