SENTECH台式薄膜探针反射仪FTPadv

 简易的膜厚测量

通过选择合适的配方，FTPadv反射仪以小于100ms的测量速度、精度小于0.3nm、厚度范围为50nm-25μm的精度进行厚度测量。

*的自动建模

通过测量反射光谱和光谱数据库的比较，将测量误差减到很小。

光谱椭偏SE为基础的材料数据库

基于SENTECH的椭偏光谱测量的大型材料库为测量新材料的光学常数提供了配方。

SENTECH台式薄膜探针反射仪FTPadv

应用

二十年来，SENTECH已经成功地销售了用于各种应用的薄膜厚度探针FTPadv。这种台式反射仪的特点是不管在低温或高温下，在工业或研发环境中，都能通过远程或直接控制，对小样品或大样品进行实时或在线厚度测量。

台式反射仪FTPadv、可重复地测量反射和透明衬底上透明和弱吸收膜的厚度和折射率。FTPadv可以结合在显微镜上，或者配备有稳定的光源，用于测量厚度达到25 µm (根据要求可更厚)的膜层。更具备了从SENTECH光谱椭偏仪经验中受益的预定义的、经由客户验证的、以及随时可以使用的应用程序的广泛数据库。

FTPadv的特征在于对来自叠层样品的任何膜层的厚度进行测量，使得FTPadv成为膜厚测量的理想成本效益的解决方案。用于工艺控制的FTPadv包括具有采样器的光纤束、具有卤素灯的稳定光源以及FTP光学控制站。局域网连接到PC允许了远程控制的FTPadv在工业应用，如恶劣环境，特殊保护空间或大型机械。

反射仪FTPadv带有大量预定义的配方，例如半导体上的介质膜、半导体膜、硅上的聚合物、透明衬底上的膜、金属衬底上的膜等等。*的自动建性允许通过与光谱库的快速比较来检测样本类型。该反射仪将操作误差减到很小。用光学反射法测量膜厚从未如此容易。

SENTECH FTPadv菜单驱动的操作软件允许单层和叠层结构的厚度测量，具有*的操作指导。此外，它还具有强大的分析工具和出色的报告输出功能。附加的自动扫描软件可用于控制电动样品台。将软件升级到用于反射测量的高级分析的软件包FTPadv EXPERT，即可应用于具有未知或不恒定光学特性的材料。因此，单层薄膜厚度测量以及折射率和消光系数分析是可实现的。