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CT-6非真空高低温探针台
大可用于12英寸以内样品测试
采用密闭腔结构,屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜
CT-6非真空高低温探针台
特点/应用
大可用于12英寸以内样品测试
采用密闭腔结构,屏蔽外部电信干扰同时保持氮气正压环境下样品在低温时无结霜
优化的腔体保温结构可以极大的减少液氮消耗量
可搭配多种类型显微镜
结构模块化设计,可无缝升级
探针台可根据客户要求定制。
台体规格:
型号 | CT-6/CT-8/CT-12 |
样品台尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 |
水平旋转 | 可360度旋转,可微调15度,精度0.1度,带角度锁死装置 |
X-Y移动行程 | 6英寸*6英寸/8英寸*8英寸/12英寸*12英寸 |
X-Y移动精度 | 10微米/1微米 |
样品固定 | 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附环 |
针座平台 | U型针座平台,多可放置6~12个探针座 |
平台升降 | 可快速升降10mm/可微调升降10mm |
背电极测试 | 样品台电学独立悬空,4mm插孔可接背电极 |
温度范围 | 负80°到正400° |
温控精度 | 0.01°/0.1°/1° |
重量 | 约120千克/150千克 |
◆ 光学系统:
显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移动行程 | 水平方向绕立柱旋转/XY轴移动4英寸,Z轴行程50.8mm |
光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 |
CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 |